机译:通过反应热化学气相沉积法在Si(001)衬底上外延生长富锗硅锗薄膜
机译:反应热化学气相沉积法在Si(001)晶片上低温外延生长高质量的Si1-xGex(x≥0.99)薄膜
机译:反应热化学气相沉积法在Si(001)晶片上低温外延生长高质量Si_(1-x)Ge_x(x≥0.99)薄膜
机译:通过反应热化学气相沉积,低温生长富含含硅含硅膜的多晶硅膜
机译:通过热线化学气相沉积在低温下在多晶硅籽晶层上外延生长硅。
机译:N2:(N2 + CH4)比在低温等离子体增强化学气相沉积法生长疏水纳米结构氢化氮化碳薄膜中的作用研究
机译:低压热化学气相沉积温度对铁薄膜上碳纳米管生长的影响
机译:低温下非晶硅的激光光化学生长及热化学气相沉积的比较