机译:氢氩等离子体清洗的硅表面的原位光谱椭圆偏振法
机译:氧化,氢化和天然锆表面在0.3至25μm波长范围内的光学性质-通过异位和原位光谱椭圆仪研究
机译:用Ex原位和原位光谱椭圆形测量测定的0.3至25μm-a的波长的氧化,氢化和天然锆表面的光学性质
机译:在氢等离子体下氧化物蚀刻和表面损伤过程的原位光谱椭圆形研究
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:通过原位光谱椭圆偏振法在金属氧化物薄膜的等离子体增强原子层沉积过程中发现前体-表面相互作用
机译:光谱椭圆形测定法。氢化硅膜生长初始阶段的原位椭圆形研究。
机译:硅和界面电子回旋共振等离子体氧化的原位光谱椭偏法研究