机译:具有氟等离子体表面处理的非钝化高功率深嵌入式GaN HEMT
机译:通过衬底偏角控制改善垂直GaN-on-GaN电源开关器件的晶圆级施主均匀性
机译:在深层蚀刻晶体表面上的高击穿GaN肖特基屏障二极管的制造
机译:专用于功率器件的氟化改善GaN深蚀刻表面态
机译:GaN-On-GaN垂直功率器件的电子显微镜表征= GaN-On-GaN垂直功率器件的电子显微镜表征
机译:通过电感耦合等离子体(ICP)和器件特性优化准垂直GaN肖特基势垒二极管(SBD)的台面蚀刻
机译:用功率器件氟化改善GaN深刻蚀表面态