FIB加工により製作したダイヤモンドマイクロ金型を用いた高圧塑性加工

摘要

本研究では，ダイヤモンドの優れた離型性およびダイヤモンドアンビルの耐圧性に着目し，超高圧を付加するための塑性加工用のダイヤモンド製マイクロ金型を製作することを目的とし，超高圧を付加することが可能であるダイヤモンドアンビルのキュレット部に，集束イオンビーム加工観察装置（FIB）を用いて微細三次元キャビティー形状を加工して，このダイヤモンド金型を使用し，無潤滑条件で大気中および真空中において金属箔に対しての塑性加工を行い，転写性の比較および試料厚さの変化量について測定を行った．その結果について報告する．