FIB加工により製作したダイヤモンド金型を用いた超高圧塑性加工

摘要

本研究では，ダイヤモンドの優れた離型性およびダイヤモンドアンビルの耐圧性に着目し，塑性加工用ダイヤモンド製マイクロ金型は超高圧を付加することが可能であるダイヤモンドアンビルのキュレット部に，集束イオンピーム加工観察装置（以下，FIBと略記：Focused Ion Beam，日立ハイテクノロジーズ（株），FB-2100）を用いて三次元キャビティー形状を加工した．このダイヤモンド金型を使用して，無潤滑条件下で大気中および真空中における金属箔に対して圧縮加工を行い，転写性および加圧流動による金属組織の微細化に関して評価することを目的としている．