机译:反应溅射NbN薄膜的生长,热稳定性和Cu扩散作为Cu和Si之间的扩散阻挡层
机译:衬底偏压对反应溅射ZrN扩散阻挡膜影响的研究
机译:作为铜和硅之间扩散阻挡层的反应性溅射(Ti,Zr)N-x纳米薄膜的热稳定性评估
机译:反应性溅射的无定形Zr-Si薄膜用作铜互连的阻挡层
机译:在独立的阻挡层之间包含氮间隔物的多层阻挡膜。
机译:再生丝素蛋白膜的牙科反应膜喷墨打印
机译:研究更新:反应溅射的纳米薄ZrN薄膜作为al和硼层之间的扩散阻挡层,用于辐射探测器应用
机译:反应溅射W-N薄膜作为Gaas金属化中的扩散障碍