大口径ミラーの絶対形状評価のためのファイバ型2光源PDI干渉計測装置の開発－ミラー保持方法の改良とノイズの低減

摘要

我々は2本のSinge Mode光ファイバが作り出す2つの点光源を微小開口として利用し、大面積計測に適したPS-PDI装置の試作を行っている。また、この研究の目標は大口径のミラーを絶対形状でサブnmの精度で計測することであり、その評価方法としてミラーを光軸に周りに90度回転させて、回転前と回転した後との形状を比較することを考えている。そのために、ミラーの保持方法の改良、干渉縞ノイズの低減を行い、凹面鏡の形状計測を行ったのでその結果について述べる。