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【24h】

レーザートラップを用いた電気泳動による局所的堆積法により造形された微細立体構造物の機械的物性評価

机译:用激光捕集器电泳通过电泳通过局部沉积方法机械物理性质

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摘要

レーザートラップを用いた局所的電気泳動堆積法で作製したピラー状の構造物に関して機械物性を評価する手法を検討した.被測定物として直径の異なるピラー構造を作製するためのパラメータを検討した.作製したピラーのバネ定数やヤング率といった機械物性をSEMの試料室内で動作するマニピュレーターを用いて既知の荷重を印加した際のたわみの測定から評価を行った.
机译:研究了使用激光捕集器评估通过局部电泳沉积制备的柱结构的机械性能的方法。检查作为待测量物体的具有不同直径的直径的柱结构的参数。当使用在SEM样品室中操作的机械手施加已知负载时,从测量偏转时评估所产生的柱的弹簧常数和杨氏模量的机械物理性质。

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