大気開放型プラズマCVMにおける加工速度フィードバック制御機構の開発(第3報)－アクチノメトリー法を用いた反応種密度計測における誤差要因の検討

摘要

大気開放型数値制御プラズマCVMを用いて，Si(111)基板の加工を行うとともに，アクチノメトリー法を用いてプラズマ中のIF/IArを測定し加工量との関係を調査した結果，IF/IArおよび加工速度には正の相関が存在し，プラズマCVM加工における加工速度の制御に適用できる可能性を示した．しかし，加工誤差±1%以内の数値制御走査加工を実現させるには，単位加工痕の体積加工量を正確に算出することが必要不可欠である．本研究では，NewViewを用いたバッチ間における測定再現性を調査したところ，体積加工量算出における誤差は0.23%であることが分かった．今後，粒子の混入を防ぐための試料保持機構を作製しバッチ間における測定再現性誤差を±0.1%以下に抑制する．