スラリー保持性に優れる樹脂を含浸した不織布パッドの開発

摘要

遊離砥粒を用いた研磨加工法はガラスや半導体基板などの最終仕上げ加工法として広く用いられている．研磨パッドは砥粒を保持し工作物表面に作用させるために使用される工具であり，研磨特性に大きく影響を与える重要な要素の一つである．現在，ガラス研磨用酸化セリウム砥粒の使用量を低減する技術が求められており，その技術の一つとしてエポキシ樹脂を用いた多孔質研磨パッドの開発を行っている．一次研磨工程で多く用いられる多孔質タイプの研磨パッドにおいて，エポキシ樹脂を適用することで砥粒の滞留性が向上し，従来のウレタン樹脂を用いた多孔質研磨パッドよりも高い研磨特性が得られることがわかっている． そこで一次研磨や二次研磨などで用いられる不織布タイプの研磨パッドにおいても砥粒の滞留性を改善するエポキシ樹脂の適用の検討を行った．本研究では，砥粒の滞留性を改善するエポキシ樹脂を不織布に含浸させ，加熱硬化により不織布パッドを作製し，それらの研磨特性の評価を行った結果について報告する．