マイクロレンズを利用したYAG 高調波による微細加工

摘要

レーザによる種々形状の微細除去加工を行う場合，被加工物表面にレーザ光を走査させて加工する方法が一般的であり，より微細な加工を高精度で行うためには，レーザ光のスポット径を小さくすることが必要となる．そこで本研究では，アクリル樹脂に対する吸収特性に優れたEr:YAG レーザ光を用いて，アクリル樹脂板表面に任意形状のマイクロレンズを製作し，それを用いてNd:YAG レーザの第2高調波を集光させて試料表面に照射させることにより，鋼板に任意の微細構造を製作した．そして，鋼板上の微細構造が摩擦特性に与える影響を調べるため，同手法でヘリンボーン構造を製作して評価したので，以下に報告する．