光触媒ナノ粒子を用いた3 次元金属微細構造創製に関する研究(第2報)－創製構造体の気相取り出し方法の検討

摘要

微小機械要素MEMSの製造など微細加工の分野において，複雑な構造体を効率良く創製する技術の確立を目指すのが本研究のテーマである．特に3次元金属構造体は，形状を制御することで，力学的機能，電気的機能，工学的機能等の様々な機能発現が出来るため，その創製法の確立が期待されている．第1報でも報告した通り，我々は酸化チタンナノ粒子と銀イオンの混合溶液に集光レーザを照射することで，3 次元金属構造体の創製に成功した(Fig.1)．