マイクロ光学レンズ成形用超精密金型の開発－GC/CNT ナノコンポジット金型材の諸特性

摘要

著者らは，前報において，ガラスモールド金型には，ガラス状カーボン（GC）が優れていること，及びこれに集束イオンビーム（FIB）加工を施すことにより開口率の高いマイクロレンズアレイ金型を作製でき，その金型を用いて寸法精度の高いマイクロレンズアレイの製造に成功した．しかし，GC を金型として使用した場合，現状では機械的·熱的特性の改善が求められている．そこで本研究では，GC の機械的·熱的特性の改善を目的として，GC を2 種類のカーボンナノチューブ（CNT）で強化したGC/CNT ナノコンポジット材料を製造し，機械的特性，熱的特性を調査した．