UV-LIGA プロセスを活用したマイクロ打抜き用工具製作技術の研究

摘要

この方法で打抜き用工具を製作することができれば従来の加工方法である放電加工や切削加工と比べ、多数の微小なパンチとダイスを持った工具を製作することができるようになり、更に任意形状の工具も製作することが可能となる。したがってインクジェット用ノズルやマイクロメッシュ用工具を始め応用範囲の広い工具製作を行うことが出来ると思われる。ここでは、打抜き用工具の製作結果と、工具の内部応力や硬さ測定の結果について述べる。