ＭＥＭＳ技術による商品化と事業化の現状と課題

摘要

ＭＥＭＳ技術はその多様性、多岐に亘る応用範囲など魅力が多い。しかしこれまではその多様性が事業確立のための障害や課題となってきた面も否めず、成功例は一部に留まっており、ＭＥＭＳ事業化は容易ではない。しかし近年ＭＥＭＳの応用範囲が現実味を帯びて広がるに従い、事業あるいは産業としてのＭＥＭＳに対する期待が高まっているが、ＭＥＭＳは十分それに応えうるポテンシャルを持つ技術であると考える。今後はこれまで遅れていた製造装置などの標準化なども進展していくと期待される。本稿では触れなかったが、集積化に適した表面マイクロマシニングなどを含めた技術の進展で、ＭＥＭＳ技術が事業、産業としても大きく実を結ぶことを確信している。