ソリッドイマージョンミラーの超精密ELID 研削（第5報）～表面あらさの向上による集光特性の向上

机译：通过改进表面粗糙度，超级精密ELID磨削 - 固体图像镜（验证） - 通过改进表面粗糙度来实现凝结特性

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近年，IT(Information Technology)を中心とした，情報社会の発展と共に，その基盤となる光通信システムやファイルメモリーの高速化·大容量化への要求はますます増大し，光ディスクや磁気ディスクの分野においても各種の技術開発が活発化している．光ディスクの分野では，様々な超解像技術が提案され，その中でも，記録密度が100Gbit/in~2 を越える可能性を秘めた微小な光スポットを得る光ヘッド技術である半回転放物面型ソリッドイマージョンミラー（Hemi-Paraboloidal Solid Immersion Mirror: HP-SIM）の製作の高精度加工を目的として，4 軸超精密油静圧駆動システムを搭載した加工装置とELID 研削法を用いて，半回転放物面型ソリッドイマージョンミラーの本体となる放物面形状の加工を行った．本報では砥石断面を有効に利用したELID 研削法により砥石目詰まりを分散させる加工方法を適用した．さらに実際に加工したワークにレーザー光を照射しスポットの集光テストを行ったのでこれについて報告する．

机译：近年来，随着信息社会的发展，随着信息社会的发展，主要在IT（信息技术）中，加快提升和大容量的档案和大容量的需求增加，以及光学领域圆盘和磁盘也被激活了各种技术发展。在光盘领域中，已经提出了各种超分辨率技术，其中包括半旋转物体类型，其是获得具有可能性的微小光点的光头技术，其具有记录密度超过100 Gbit /为了2，为了制造固体图像镜（半抛物面固体浸泡镜：HP-SIM）的高精度加工，使用配备有四轴超精密油的处理装置的半旋转静压驱动系统和ELID研磨方法将抛物线形状加工为物体型固体图像镜的主体。在本报告中，施加了一种用ELID研磨方法分散研磨轮伴利用研磨轮横截面的处理方法。此外，由于实际处理的工作被激光和焦点测试的焦点照射，我们向此报告了这一点。

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来源
《精密工学会学術講演会》|2004年||共2页
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作者
鈴木亨; 大森整; 上原嘉宏; 林偉民; 上柳喜一; 若林公宏; 鈴木貞一; 足立幸男;
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中图分类 TG5-53;
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