次世代大型天体望遠鏡の超精密ポリシング法に関する研究 第１報：小径ポリシングツールの走査によるミラー面超精密研磨

摘要

ELID研削には使用する砥石が#4000より細かい粒度（例えば#8000以上）のものを用いれば，高品位な鏡面が得られることがすでに実証されている．ミラー面の無擾乱鏡面加工には遊離砥粒による研磨法の併用は効率的とされている．EILD研削手法と他の仕上げ手法とを複合化することにより，効果的仕上げ加工が期待される．すでに，遊離砥粒研磨法の併用により，高精度·高品位X線ミラーの開発を行った事例がある．本報では天体望遠鏡主鏡ミラー材料を対象に，ELID研削面の研磨基礎実験を行い，大型ミラーの仕上げ加工法に関する検討を行う．