ハイテク部品の超精密研磨加工技術－ストレスリリーフと超精密仕上げ：ラッピング／ポリシング資材による超精密研磨加工

摘要

ラッピングおよびポリシングは、平坦面を作り出す加工方法として知られており、現在の量産加工方法のうちでは最も良好なる精度が得られる方法であって、高精度な平面仕上げが要求される加工プロセスにおいて重要な役割を担っている。