変位縮小機構を用いた手動によるサブナノ分解能位置決め装置の開発

摘要

近年，ナノメートルスケールでの計測や位置決めが必要不可欠になってきている．弾性ヒンジを用いた案内や運動伝達要素は，スティックスリップなどの摩擦の影響や発熱，潤滑の必要がなく高寿命であるため，精密な機構に多く使用されている．本研究では，この弾性ヒンジを用いたリンク機構で変位縮小機構を構成し，手動による操作にてサブナノメートル分解能を達成する手動位置決め装置を開発した．本報では，装置の原理，試作した装置の概略，縮小率の測定結果，位置決め分解能，熱的安定性の評価を行った結果について報告する．