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超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器の開発ステータ-ロータインターフェイス形状の変更による駆動性能の向上の試み

机译:超高真空兼容旋转导引器的开发使用超声波电机定子 - 通过改变转子界面形状来提高驱动性能

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摘要

筆者らは,電子線を用いて微細構造の加工や観察を行う機器内で動作する機械要素として,超音波モータの真空適応性に着目し,その原理を応用した回転導入器を開発している.これまでに高真空中(5×10~(-5)Pa)での最大トルク30mNm,8.0×10~(-7)Pa の超高真空中で11 時間の連続駆動を実現した.本回転導入器の用途としては,電子線を用いる機器内での位置決めや把持をはじめ,超高真空環境を要求される機器や半導体プロセスでの汎用駆動源として需要を見込hでいる.よって,トルクや寿命はできるだけ大きく,長いことが好ましい.本報では,これまで試作した回転導入器の基本構造や外形形状及び寸法の変更なしにトルクの増大及び駆動時間の延長を目指した.
机译:作者集中于超声波电动机的真空适应性作为在使用电子束进行微观结构加工和观察的设备中操作的机器元件,以及开发应用于原理的旋转导引器。到目前为止,在高真空的超高真空中连续驱动11小时(5×10 1至-5)PA),实现了8.0×10至(-7)PA的超高真空。该旋转导引器的应用预计将是作为通用驱动源的需求,其中需要超高真空环境,包括使用电子束的装置中的定位和夹持。因此,优选的是,扭矩和寿命尽可能大而长。在本报告中,我们旨在扩展扭矩和驾驶时间的增加而不改变如此突出的旋转导引器的基本结构,轮廓形状和尺寸。

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