大気圧Air／Ar混合ガス及びAir／He混合ガスの電子ドリフト速度と実効電離係数の比較

摘要

近年、大気圧中のプラズマ応用は、真空装置が不要である点から注目されている。大気圧中のプラズマは、大気圧空気と供試ガスが混合した状態となっている。そのため、混合ガスの混合率の違い及び供試ガスの違いによりプラズマの挙動が異なる。これらのプラズマ挙動を理解するためには、電子の挙動を把握する必要がある。本研究では、大気圧Air/Ar混合ガス及びAir/He混合ガスにYAGレーザを照射し弱電離プラズマを発生させるパルスレーザ誘導法を用いた。そして、荷電粒子スウオームパラメータである平均ドリフト速度と実効電離係数の計測を行なった。本稿は、Ar及びHeガスの異なる混合率での比較結果を報告する。