3層モデルの3次元シミュレーショントリーにおけるバリア表面上の劣化体積の変化

摘要

これまで、筆者らは、バリア表面上でのエア層を考慮した3層モデルの3次元トリーシミュレーションを行ってきた。今回は、3層モデルの3次元シミュレーショントリーにおけるバリア表面上の劣化体積の変化について定量的に検討したので、その結果を報告する。