机译:气相二氧化硅CMP浆料的剪切增稠和缺陷形成
机译:将硅粉转化为化学机械抛光(CMP)纳米浆料以用于高级半导体制造
机译:在ILD CMP应用中表征回收的气相二氧化硅浆料
机译:乳清二氧化硅CMP浆料中大颗粒的表征
机译:CMP过程中的磨料颗粒轨迹和材料去除不均匀性以及CMP浆料的过滤特性-模拟和实验研究。
机译:使用光密度法和折射率测量表征CMP浆料
机译:具有熏蒸二氧化硅的滑石颗粒的干涂层:二氧化硅浓度对复合颗粒的润湿性和分散性的影响
机译:纳米铝和气相二氧化硅颗粒对硝基甲烷爆燃和爆轰的影响