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Adsorption and oxidation effects in microcrystalline silicon

机译:微晶硅的吸附和氧化作用

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摘要

Electron spin resonance and conductivity measurements were used to study adsorption and oxidation effects on microcrystalline silicon with different structure compositions ranging from porous,highly crystalline to compact mixed phase amorphous/crystalline.We found a correlation between active surface area and the magnitude of observed meta-stable and irreversible effects.
机译:电子自旋共振和电导率测量用于研究对微晶硅的吸附和氧化作用,其不同的结构组合物从多孔,高度结晶到紧凑的混合相无定形/结晶。我们发现有源表面积与观察到的元的幅度之间的相关性。稳定和不可逆的效果。

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