nc-Si:H; SiF_4H_2-He plasma; optical emission spectroscopy;
机译:等离子体功率对低基底温度下超高频等离子体增强化学气相沉积法沉积氢化纳米晶立方碳化硅薄膜结构的影响
机译:在低基板温度下通过等离子体增强化学气相沉积和热线化学气相沉积沉积的薄膜的机械和压阻特性
机译:等离子体增强化学气相沉积法从SiCl_4 / H_2气体中制备的纳米晶硅膜的低温(120℃)生长:微观结构表征
机译:在低温下从SIF_4-H_2-HE的血浆增强纳米晶硅膜的化学气相沉积
机译:等离子体增强的硅基薄膜材料的化学气相沉积:使用质谱和低温(<600摄氏度)固相结晶的实时过程感测
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:在低衬底温度下通过射频等离子体增强化学气相沉积法沉积的掺杂非晶硅和纳米晶硅的电子和结构性质