silicon nitride; sputtering; passivation; solar cell; hetero junction; field-effect passivation;
机译:催化CVD氮化硅膜和磷掺杂对钝化晶体硅表面的钝化
机译:带负电荷的氮化硅膜,用于通过低温快速热退火改善P型硅表面钝化
机译:操纵氮化硅膜中的K中心电荷态以实现硅太阳能电池的出色表面钝化
机译:通过RF磁控溅射氮化硅膜的硅表面钝化
机译:氢化硅键合环境在α-硅:氢膜中对c-硅表面钝化的作用
机译:利用远程等离子体原子层沉积系统沉积的HfO2薄膜对硅进行表面钝化
机译:通过表面波等离子体进行氮化硅膜的化学气相沉积,用于AlGaN / GaN装置的表面钝化
机译:通过氮化硅薄膜沉积研究硅表面钝化:最终报告,1983年9月1日 - 1986年8月31日