机译:氮化硅和氮氧化硅中间层对硅上五氧化钽薄膜性能的影响:X射线光电子能谱,X射线反射率和电容电压研究
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机译:工艺参数对反应溅射沉积氮化钽薄膜性能的影响
机译:对氮化钽膜耐久性的老化作用
机译:通过无机低温化学气相沉积法生长的钽和氮化钽膜,用于铜金属化:化学,工艺以及材料开发和表征。
机译:通过原子层沉积与透明导电氧化物基板集成的氮化钽薄膜用于光电化学水分解
机译:对钨,钽和氮化钽扩散屏障的铜基纳米型纳米移层导热率的界面和层周期性效应
机译:新型碳化钽(TaC)衬底上低缺陷密度氮化镓(GaN)薄膜的生长,提高器件性能