机译:对钨,钽和氮化钽扩散屏障的铜基纳米型纳米移层导热率的界面和层周期性效应
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机译:等离子体浸没离子注入形成的氮化钽扩散阻挡层用于铜金属化的热稳定性
机译:钽扩散阻挡层,可提高Al_xO_y / Pt / Al_xO_y多层太阳能吸收器的热稳定性
机译:钽氮化物薄膜的化学气相沉积使用五丁基(乙基甲基氨基)钽(PEMAT)作为Cu金属化的扩散屏障:离子束轰击的热分解和影响
机译:氮化钛,氮化钽和氮化钨作为铜和二氧化硅之间的扩散阻挡层的比较研究。
机译:薄膜转移用于制造具有可控分层结构的氮化钽光电极用于水分解
机译:1金属碳化物和氮化物扩散阻挡铜金属化