机译:第24届IEEE微机电系统国际会议(MEMS 2011),第14届化学与生命科学微型系统国际会议(UTAS 2010),IEEE传感器2010会议(Sensors 2010)
机译:MEMS'07第20届IEEE国际微机电系统会议报告
机译:MEMS 2006(第19届IEEE国际微机电系统会议)报告
机译:会议论文集:IEEE Micro Electro Mechanical Systems。微观结构,传感器,执行器,机器和机器人的研究(IEEE目录号89THO249-3)
机译:适用于微机电系统的块状金属箔的高分辨率光刻兼容微放电加工
机译:用于高g微机电系统(MEMS)加速度计的动态线性测量的双头冲击系统的开发
机译:IEEE Robert Bosch Micro和Nano Electro Mechanical Systems奖
机译:IEEE微电子机械系统研讨会于1994年1月25日至28日在日本大矶举行