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Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems. An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robots (Cat. No.91CH2957-9)

机译：诉讼程序。 IEEE微电机械系统。对微结构，传感器，执行器，机器人和机器人的调查（猫。No.91Ch2957-9）

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The following topics are dealt with: microactuators; novel technologies; micromachining; material properties and simulation; actuators for miniature robots and bulk micromachining; optics and positioning; and medical applications and fluidics.

机译：以下主题是处理：微致动器;新颖的技术;微机器;材料特性和仿真;微型机器人和散装微机器的执行器;光学和定位;和医疗应用和流体。

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来源
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》|1991年||共1页
会议地点
作者
Institute of Electric and Electronic Engineer;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类自动化技术、计算机技术;
关键词

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