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Application of MEMS Enabled Excitation and Detection Schemes to Photoacoustic Imaging

机译:MEMS使能激励和检测方案的应用到光声成像

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摘要

This paper shows, for the first time, a MEMS enabled photoacoustic system, using a custom MEMS Q-switched Nd:YAG laser for generation of photoacoustic (PA) waves and a custom-built MEMS thin-film aluminium nitride piezoelectric micromachined ultrasound transducers for PA wave detection.
机译:本文首次示出了MEMS使能光声系统,使用自定义MEMS Q开关ND:YAG激光器,用于产生光声(PA)波和定制的MEMS薄膜氮化铝氮化物压电微机器超声传感器PA波检测。

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