ナノ精度研削加工のための均一分散·分級ダイヤモンド砥石の開発第2 報：超音波プレス装置による砥石成形と研削性能評価

摘要

ナノ精度研削加工を達成すべく均一分散·分級ダイヤモンド砥石の開発を行い，前報において微粒砥粒および結合剤の分級·分散の技術について報告した．本報においては超音波プレス砥石成形装置を開発し，本装置による稠密な砥石成形について報告するとともに，成形した砥石による研削実験を行い研削性能について評価を行った．その結果，超音波援用により砥粒·結合剤の密着度の向上が確認され，通常の成形法で作成した砥石と比較し，均一分級·分散超音波プレス成型による砥石では研削比が3 倍程度に向上し，研削面粗さが40%程度に減少するという効果を得た．