ナノ精度研削加工のための均一分散·分級ダイヤモンド砥石の開発

摘要

直径数ミクロンのダイヤモンド砥粒を用いた小径微粒砥石においては，砥石成形時の砥粒凝集が問題となっている．また，結合剤に樹脂を用いる場合，樹脂の微粒化が困難であることから砥粒の分布に偏りが生じ，切れ刃間隔が不均一になってしまう．本研究では，樹脂結合剤中に砥粒が均一分散した砥石の実現を目的とし，気流を用いて粒子径を揃える装置の開発とシミュレーションによる最適化，2流体スプレーノズルを用いた凝集粒子の分散および砥粒·結合剤の均一混合実験を行った．また，最終的に従来法では成形不可能であった高集中度の砥石を製作することで，本手法の効果を確認した．