集束イオンビーム照射した単結晶ダイヤモンド工具の改質とその切削加工特性: 第6報：エンドミル工具におけるテクスチャ効果の検討

摘要

本研究では集束イオンビーム(FIB)に着目し，これを利用した加工特性に優れた単結晶ダイヤモンド工具の開発を目的とする．これまでに，FIBと熱処理を併用することで，マイクロテクスチャを有する単結晶ダイヤモンド工具を作製した．これを用いて加工実験を行った結果，工具と被削材間の摩擦が減少し，加工特性が改善されることを明らかにした．本報では，これまでの技術を応用して，新たにダイヤモンドエンドミルのすくい面にFIB 照射することで，マイクロテクスチャを有する工具を作製した．加工実験と摩耗試験を行い，各種条件依存性について検討した．