Electrostatic nonlinearity; MEMS; clamped-clamped resonator; open-loop frequency response; parallel-plate resonator;
机译:驱动波形对采用非线性激励方案的MEMS谐振器开环频率响应的影响
机译:利用振铃响应表征MEMS谐振器非线性
机译:非线性MEMS谐振器的磁场检测原理以及与电容式读出系统的相互作用
机译:通过非线性开环频率响应表征电容性MEMS谐振器
机译:关于微纳电容谐振器的非线性响应。
机译:低G MEMS加速度计具有高灵敏度低非线性和基于3-DOF弱耦合谐振器的模式定位的大动态范围
机译:通过非线性开环频率响应表征电容性MEMS谐振器
机译:基于使用开环和闭环频率响应的演化计算的mEms陀螺仪调谐的硬件平台