机译:低温杂化ZnO / Al_2O_3层原子层沉积在聚合物基板上的薄膜封装研究(会议论文)
机译:使用沉积的原子层和不同沉积温度下的TiO_2隧穿势垒的聚合物隧穿二极管中的负差分电阻
机译:等离子体增强原子层沉积在聚醚砜基板上低温沉积氧化铝
机译:用于低温原子层沉积工艺的光子能源的新设计和运行; TiO_2在聚合物基底上的沉积
机译:低工艺温度下库珀种子层的等离子体增强原子层沉积。
机译:使用肼作为氮源的氮化铝的低温热原子层沉积
机译:中空阴极等离子体电子源通过电子增强原子层沉积进行低温沉积钴膜
机译:二元和三元氧化物薄膜原子层外延低温沉积过程的研究