Untersuchung des piezoresistiven Langs- und Quereffekts von polymerabgeleiteten Keramiken

摘要

Am Institut fur Elektromechanische Konstruktionen (EMK) und am Institut fur Materialwissenschaft (DF) der TU Darmstadt werden im Rahmen eines DFG-Projekts die piezoresistiven Eigenschaften von polymerabgeleiteter Keramiken analysiert. Die ersten Untersuchungen weisen daraufhin, dass C/SiOC-Keramiken sowohl piezoresistive Langs- als auch Quereffekte aufweisen. Durch Variation des Kohlenstoffanteils in der Keramik kann die Druckempfindlichkeit gezielt beeinflusst werden. Die C/SiOC-Keramik mit einem Volumenanteil von 17 vol% an segregiertem Kohlenstoff weist den hochsten K-Faktor mit ca. 270 auf. Die relative Widerstandsanderung verlauft linear in Abhangigkeit von der Dehnung (Messbereich: 1·10~(-4) ≤ S ≤ 3·10~(-4)).