Feuchte- und Temperatursensor kombiniert auf einem Chip

摘要

Der neu entwickelte Sensor vereinigt einen Feuchtesensor und einen Temperatursensor auf einem Chip in Sandwichbauweise. Der kapazitive Feuchtesensor besteht aus einem feuchtempfindlichen Polymer, welches von zwei Elektroden umschlossen wird. Der Temperatursensor besteht aus einem Pt100 oder Pt1000 Platintemperatursensor. Dies bringt den grossen Vorteil, dass der Pt100-Sensor auch als Heizer des Feuchtesensors benutzt werden kann. Die Vorteile des Heizens sind, dass die Moglichkeit einer Rekalibrierung des Feuchtesensors besteht, Verhinderung von Betauung und das Ausheizen bzw. Ausgasen des Feuchtesensors. In den folgenden Seiten wird der Aufbau und die Funktionsweise der einzelnen Sensoren und des neu entwickelten kombinierten Sensors erklart. Zudem wird naher auf die Vorteile des Heizens eingegangen.