acoustic bandgap; acoustic crystal; aluminum nitride; phononic bandgap; phononic crystal;
机译:具有Mo / AIN / Mo结构的硅大体积微机械化高Q薄膜大体积声谐振器
机译:SCAIN,ZnO和PBTIO_3压电薄膜的偏振控制:偏振倒多层散装声波和表面声波器件的应用
机译:具有绝对振动幅度测量功能的RF表面声波/散装波装置的高速,相敏激光探头系统的高速,相敏激光探针系统
机译:微机械散装波声学带隙器件
机译:微加工电容式硅体声波陀螺仪。
机译:支持体声驻波的无鞘层聚焦声流装置的制造和操作
机译:浅层声波器件-一种用于通信系统的新型声波器件