Mobiles Kalibriersystem fur Partikelzahler

摘要

Ublicherweise steht fur ISO Standards alle funf Jahre eine Revision an. Bereits drei Jahre nach Erscheinen der ISO 21501-4, dem ISO-Standard fur optische Partikelzahler (OPZ) fur Reine Raume, wurde wahrend der ISO-Sitzung im Fruhjahr 2011 beschlossen, dass dieser Standard uberarbeitet werden muss. Ein wesentlicher Grund fur die Revision war, dass die wichtigen Geratekenngrossen wie Zahlwirkungsgrade, Grossenauflosungsvermogen und Grossenklassifiziergenauigkeit nicht in Abhangigkeit der Partikelgrosse gefordert sind. Im Folgenden wird ein neues mobiles Kalibriersystem fur OPZ's und andere zahlende Partikelmessgerate vorgestellt. Mit diesem Kalibriersystem kann der untere Zahlwirkungsgrad von bis zu sechs OPZ's untereinander und funf OPZ's im Vergleich zu einem Referenzmessgerat verglichen, d. h. kalibriert werden. Die Zahlwirkungsgradunterschiede konnen mit einer Genauigkeit von 5% in Minutenschnelle auch zu einem Referenzmessgerat ermittelt werden.