新しいダイヤモンド砥粒固定法によるリーワイヤの創製とこれを用いたサファイヤインゴットのスライス加工

摘要

シリコン，サファイヤや各種セラミックスなど硬質材料のマルチワイヤソ｝によるスライス加工において，ワイヤ表面にダイヤモンド　砥粒を固着させたダイヤモンドワイヤ工具が一般化している．これらのダイヤモンドワイヤ工具において，ダイヤモンド砥粒をワイヤに固着する現在の方法には大きく分けてレジンボンド法、電着法ならびにろう付け法の3種類がある．