鉛フリーハンダをダイヤモンド砥粒固定材に用いたソーワイヤの開発とそれを用いたサファイヤインゴットのスライス加工への適用

摘要

このような背景の下に，筆者らは低融点，高強度ならびに高延性のAg合金系ろう材を開発するとともに，これを用いてNi被覆したSUS細線へのダイヤモンド砥粒を固定させたソーワイヤを試作し，Siインゴットのスライス加工への適用を試み，太陽電池用シリコンウエハーとしてのスライス加工に成功した．しかしながらこの技法ではろう材やワイヤ素材の材料費やソーワイヤ製造の設備費が高くつくことなど実用化への障害は多く残されている．したがって，本研究ではダイヤモンド砥粒のワイヤへの固定材に鉛フリーハンダを採用し，ワイヤとして前回に採用したNi被覆SUS304より安価で高抗張力の真鍮被覆ピアノ線を採用したダイヤモンド固定砥粒ソーワイヤの試作を行うとともに，代表的な硬脆材料であるサファイヤインゴットのスライス加工を試み，LEDパッケージ基板に適用可能なサファイヤウエハを得ることが出来たのでその結果を報告する．