电镀金刚石线表面磨粒密度对锯切性能影响分析

摘要

电镀金刚石线广泛应用于光伏太阳能和半导体行业的硅晶体切片加工,其表面的磨粒密度对锯切性能有很大影响.为了评价表面不同磨粒密度的电镀金刚石线的锯切性能,以光伏多晶硅为试件开展了锯切试验,分析了表面形貌、表面粗糙度和锯切效率的影响规律.研究结果表明:采用表面磨粒密度为210～230个/mm与290～330个/mm的两种金刚石线锯切的表面塑性沟槽所占比例较大,没有明显的较大尺寸脆性微凹坑.表面磨粒密度为210～230个/mm的金刚石线切割形成的硅片表面粗糙度最低,金刚石线表面过低或过大的磨粒密度会使硅片表面粗糙度变大.金刚石线的切割能力和锯切效率随着表面磨粒密度的增大而有所提高.综合考虑切片表面形貌和粗糙度等方面的质量要求与金刚石线的锯切能力和制造成本,建议金刚石线表面磨粒密度在210～330个/mm较为适宜.