レーザーCVD法により合成したTiON膜の微細構造に与える合成条件の影響

摘要

窒化チタン(TiN)やアルミナ（α-Al_2O_3)は、超硬合金切削工具の硬質コーティング材料として広く用いられている。特に、Al_2O_3は、硬質、耐食および絶縁などのコーティング材として幅広く応用され,高温でも化学的安定かつ硬度を保持でき、母材の温度上昇を抑制する熱遮蔽層としても優れていることから、Al_2O_3をトップコーティングした切削工具は、耐磨耗特性や工具寿命が向上する。