机译:用于80 nm先进技术的超薄去耦等离子体氮化(DPN)氮氧化物栅极电介质
机译:掺氮对超薄氮氧化硅薄膜能带取向的影响,随等离子体氮化条件的变化
机译:低电子温度微波等离子体氮化形成氮氧化硅薄膜中氮原子的深度分布
机译:大气对精确控制等离子体氮化过程的超薄氮化物膜的影响
机译:活性氮中硅的热氮化(薄介电体,等离子体处理,超大型材料,氮化硅,氧化硅)
机译:Operando SXRD研究Cu2S超薄膜的结构和生长过程
机译:射频磁控溅射生长(Sr,La)-(Ta,Ti)-O-N钙钛矿氧化物和氧氮化物膜:反应气氛对膜结构的影响
机译:等离子体模量,等温应力和等离子体沉积氮氧化硅薄膜的温度依赖性