carbon nanotubes; catalysis; electron beam lithography; micromechanical devices; C; MEMS CNT integration; batch fabrication; catalyst concentration; catalyst layer lift-off; catalytic island minimum feature size; electrically connected tubes; electron beam lithogra;
机译:将碳纳米管集成到用于葡萄糖传感器的三维C-MEMS
机译:将碳纳米管集成到片上超级电容器的C-MEMS
机译:碳纳米管集成到MEMS器件中
机译:将碳纳米管集成到MEMS中的新颖工艺流程
机译:气相生长的碳纳米纤维,单壁碳纳米管和功能化单壁碳纳米管-聚丙烯纳米复合材料的结构-工艺-性能相互关系。
机译:碳纳米管与CMOS工艺的集成
机译:P2.0.4碳纳米管对葡萄糖传感器的三维C-MEM的整合