scatterometry; integrated scatterometry; CD-SEM; total measurement uncertainty; TMU; feedforward; gate control; chemical oxide removal; COR; ODP;
机译:无需详细的不确定性测量即可提高自适应前馈控制器稳定性的技术
机译:更加强大:传统质量控制测量和患者中位数的合计Z值改善了偏差的检测
机译:更强大:传统质量控制测量和患者中位数的聚合Z值改善了偏差的检测
机译:在集成散射仪上进行掩模开口测量的前馈,以改善栅极线宽控制
机译:鲁棒的多变量前馈/反馈控制器设计,用于核电站的集成功率控制。
机译:X射线光刻掩模计量学:透射电子在SEM中用于线宽测量
机译:一种提高自适应前馈控制器稳定性的技术,无需详细的不确定性测量
机译:改进测量的好处和成本:集成电路光掩模线宽的情况