首页> 中文会议>第八届真空技术应用学术年会 >集成栅极控制的碳纳米管场发射阵列阴极的制造技术

集成栅极控制的碳纳米管场发射阵列阴极的制造技术

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文重点介绍一种带集成栅极的碳纳米管场发射阴极(CNTFEA)的制造工艺.研制了两种类型的栅控CNTFEA.一种是在微孔的底部生长CNT,另一种则是在孔底部预先沉积的M尖上制备CNT发射体.前者的CNT发射体由多根CNT组成,呈锥状,较为一致;后者通常由一根或几根CNT组成.

著录项

来源
《第八届真空技术应用学术年会》|2005年|89-91|共3页
会议地点厦门
作者
丁明清; 李兴辉; 白国栋; 张甫权; 李含雁; 冯进军;
展开▼
作者单位

中国电子学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类场致发射、场致发射阴极;结构和元部件;
关键词
集成栅极控制; 碳纳米管; 场发射阵列阴极; 制造技术;
入库时间 2022-08-17 10:56:30

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 碳纳米管阵列栅极冷阴极场发射增强因子的计算 [J] . 戴剑锋 ,乔宪武 ,张嵩波 . 功能材料 . 2008,第011期
2. 电泳法制备平栅极碳纳米管场发射阴极及场发射特性研究 [J] . 赵文中 ,祁康成 ,文永亮 . 电子器件 . 2012,第001期
3. 碳纳米管栅极冷阴极结构场发射计算 [J] . 乔宪武 ,江影 ,戴剑锋 . 功能材料 . 2010,第0z1期
4. 碳纳米管栅极冷阴极结构场发射计算 [J] . 乔宪武 ,江影 ,戴剑锋 . 功能材料 . 2010,第A01期
5. 碳纳米管场发射阴极阵列制备研究与进展 [J] . 杨云青 ,王蜀霞 ,胡慧君 . 材料导报 . 2007,第012期
6. 场发射冷阴极亚微米栅极孔阵列制备技术 [C] . 赵兴海 ,施志贵 ,郑英彬 . 第一届全国太赫兹科学技术与应用学术交流会 . 2012
7. 栅极冷阴极结构碳纳米管管束阵列场发射性能的研究 [A] . 慕晓文 . 2011

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号