机译:超临界二氧化碳中多孔低介电常数薄膜的原位椭偏
机译:有机金属铜化合物在超临界二氧化碳中与多孔低介电常数薄膜的缩合和清洗
机译:还原性N_2 / H_2等离子体对多孔低介电常数SiCOH薄膜的影响
机译:激光超声:用于微电子互连的软多孔低介电常数薄膜检测工具
机译:使用正电子an没寿命光谱探测多孔低介电常数薄膜。
机译:使用激光多普勒振动法和有限元模拟确定ScxAl1-xN薄膜压电常数的圆形测试结构
机译:多孔低介电常数薄膜的力学性能分析,用于多层互连结构的稳定性评估
机译:多级互连金属薄膜的脉冲激光平面化