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【24h】

Deposition of carbonic films from plasma of arc discharge without a cathode spot

机译:从电弧放电等离子体沉积碳胶片,没有阴极点

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摘要

PVD ways of synthesis of hydrogen-free diamond-like films with high speed of a deposition of particles are analyzed. The technique of obtaining of coatings by means of a vacuum - arc discharge and of a plasma-optical filter provide the highest characteristics of -
机译:分析了具有高速沉积颗粒的无氢金刚石状膜的PVD方式。通过真空 - 电弧放电和等离子体光学滤波器获得涂层的技术提供了最高特性 -

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